氮化鋁晶圓

HCAT提供晶圓級氮化鋁基板；氮化鋁具有高絕緣、高導熱特性，可解決中介層基板面臨的漏電、雜訊及散熱問題，適用於高功率、微型化等產品。

1 氮化鋁晶圓

產品特色Product Features

高熱導率，為氧化鋁之7~8倍
高散熱特性，有效改善熱源累積問題
熱膨脹係數接近矽晶圓，裝載大型矽晶片和熱循環實現了高可靠性
高絕緣阻抗、介電常數小；解決絕緣鍍膜破損而導致之漏電與雜訊問題
比氧化鋁具有更高機械強度及密度
對熔融金屬具良好的耐蝕性
無毒性且成分穩定性佳

與其它廠商之技術差異

HCAT採用特殊製程技術，有效製造出晶圓級氮化鋁基板，並且在Warp與TTV表現上皆非常良好。

產品應用Product Usage

散熱基板、封装用基板、半導體用基板、薄膜电路基板、功率电阻用基板、功率模組（IGBT, MOSFET,…）、高功率元件等。

技術對比參照

(表格內容可透過左右拖移 )

Properties		方法一	方法二
Size	Inches	8”	8”/12”
Density	g/cm^3	3.25	3.4
Surface roughness (Ra)	nm	-	19~21
Hardness (Mohs)	Mohs	9	9
Bending strength	Mpa	310~350	350~450
Thermal expansion(20~400℃)	10^(-6)/K	4.3	4.8
Thermal conductivity(25℃)	W/(mK)	180	180~230
Specific heat	J/(kg*K)	680	720
Dielectric constant (1MHz)	1MHz	8.5	9
Dielectric loss factor (1MHz)	1MHz	3	3
Volume resistivity (25℃)	Ω· cm	>10¹⁴	>10¹⁴
Breakdown strength	KV/mm	>15	>15
Warp	um	>100	>10
TTV	um	-	<5
Flatness	um	-	<3
ESD fragmentation rate	%	High	Low

(表格內容可透過左右拖移 )

Item / Unit				AlN
Item / Unit				Wafer
Thickness			mm	100 ~ 2000	100 ~ 2000	100 ~ 2000	100 ~ 2000	100 ~ 2000	100 ~ 2000	100 ~ 2000	100 ~ 2000	100 ~ 2000
Size			mm	Ф6"	Ф6"	Ф6"	Ф8"	Ф8"	Ф8"	Ф12"	Ф12"	Ф12"
Color			-	Beige-Gray	Beige-Gray	Beige-Gray	Beige-Gray	Beige-Gray	Beige-Gray	Beige-Gray	Beige-Gray	Beige-Gray
Sape			-	Rotundity	Rotundity	Rotundity	Rotundity	Rotundity	Rotundity	Rotundity	Rotundity	Rotundity
Through hole			mm	≧φ0.1	≧φ0.1	≧φ0.1	≧φ0.1	≧φ0.1	≧φ0.1	≧φ0.1	≧φ0.1	≧φ0.1
Bulk density			g/cm3	3.4	3.4	3.4	3.4	3.4	3.4	3.4	3.4	3.4
Surface roughness			nm	<50	<50	<50	<50	<50	<50	<50	<50	<50
Mechanical characteristic	3-point bending strength		MPa	450	400	350	450	400	350	450	400	350
	Young's modulus		GPa	320	320	320	320	320	320	320	320	320
	Vickers hardness		GPa	10	10	10	10	10	10	10	10	10
	Breakdown Strength		kV/mm	> 15	> 15	> 15	> 15	> 15	> 15	> 15	> 15	> 15
Thermal characteristic	Coefficient of thermal expansion	40-400℃	×10-6/K	4.8	4.8	4.8	4.8	4.8	4.8	4.8	4.8	4.8
	Coefficient of thermal expansion	40-800℃	×10-6/K	5.4	5.4	5.4	5.4	5.4	5.4	5.4	5.4	5.4
	Thermal conductivity	25℃	W/(m・K)	180	200	230	180	200	230	180	200	230
	Specific heat		J/(kg・K)	720	720	720	720	720	720	720	720	720
Electric characteristic	Dielectric constant	1MHz	-	9	9	9	9	9	9	9	9	9
	Dielectric Loss	1MHz	×10-4	3	3	3	3	3	3	3	3	3
	Volume resistivity	25℃	Ω・cm	> 10¹⁴	> 10¹⁴	> 10¹⁴	> 10¹⁴	> 10¹⁴	> 10¹⁴	> 10¹⁴	> 10¹⁴	> 10¹⁴